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本发明提供一种一边使清洗头在基板的半径方向上移动一边清洗基板的表面的创新的基板清洗装置。清洗基板(S)的基板清洗装置(50)，具备：外周支承部件(51)，支承基板(S)并使基板(S)旋转；海绵(541)，具有清洗面，该清洗面用于接触因外周支...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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