下载电容式压力传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:16178748

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本发明涉及一种高精度压力传感器,其具有:第一基体(1),该第一基体(1)具有两个导电层(11、13)和绝缘层(15),该绝缘层(15)被布置在这两个层(11、13)之间并且使所述两个层(11、13)彼此电绝缘;导电测量膜(5),该导电测量膜...
该专利属于恩德莱斯和豪瑟尔两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩德莱斯和豪瑟尔两合公司授权不得商用。

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