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文档序号:16176998

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得到一种能够实现高可靠性的半导体装置。在主单元区域,在半导体衬底(1)的主面形成有第1扩散区域(2),在终端区域,在主面形成有第2扩散区域(3)。绝缘膜(5、6)形成于半导体衬底(1)的主面之上,在第1及第2扩散区域(2、3)之上分别具有第...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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