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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:16176987
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本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。实施方式的半导体装置具有:积层体,具有经由层间绝缘膜而积层的多个第1导电膜;第1导电体,与所述积层体相接且在积层方向延伸;以及多个第1绝缘膜,与所述多个第1导电膜为同一层,配置于所述第1导电体与所述多个...
该专利属于东芝存储器株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东芝存储器株式会社授权不得商用。
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