下载一种阵列基板的制备方法、阵列基板和显示装置的技术资料

文档序号:16176955

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本发明实施例提供了一种阵列基板的制备方法、阵列基板和显示装置,其中制备方法包括:提供一基板,该基板包括衬底、栅极、栅极绝缘层、有源层、源极、漏极和包含漏极过孔的钝化层,在钝化层上形成一碳膜层并在碳膜层上形成一光刻胶层,对光刻胶层进行图案化处...
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