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本发明提供了一种用于对基底进行等离子体处理的等离子体处理装置，包括：腔，包括一个或多个壁，其中腔的壁的一部分是由含金属的材料形成且构造成用作电感耦合等离子体源的初级绕组的电极结构；以及电信号供应设备，用于供应电信号，所述电信号驱动电极结构作...
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