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一种硅片对准标记的曝光装置和曝光方法，曝光装置由光源模块、照明模块、能量监测模块、成像模块、安装主框架、硅片高度传感器、掩模台、硅片台和控制模块组成，本发明包含两个以上的照明‑成像单元，可在硅片表面同时进行两个或两个以上对准标记的曝光。节省...
该专利属于上海镭慎光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海镭慎光电科技有限公司授权不得商用。

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