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一种基于半球微结构的超分辨显微装置制造方法及图纸
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文档序号:16175084
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本发明公开了一种基于半球微结构的超分辨显微装置,包括激光器、第一偏振分束镜、第二偏振分束镜、第一反射镜、第二反射镜、半波片、上物镜、下物镜和探测器。所述的上物镜和下物镜之间设有用于聚焦光线的半球微结构和用于承载样品的样品台,所述半球微结构为...
该专利属于中国计量大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量大学授权不得商用。
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