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本发明提供了一种非球面变焦系统及照明光学系统，属于光刻照明技术领域。该非球面变焦系统包括：沿第一方向依次同光轴设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组。第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组中至少一个透镜具有非球面。第一透镜组包括依次设置的第一...
该专利属于长春理工大学光电信息学院所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学光电信息学院授权不得商用。

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