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本发明属于扫描电子显微测量技术领域，公开了一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法包括：获得待测线条结构的扫描电子显微图像；截取第一区域；沿线条方向平均化处理，获得线条边缘像素分布曲线；根据所述线条边缘像素分布曲线，确定第一边界区域；局域...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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