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本文提供了一种全自动化的扫描电子显微镜，所述扫描电子显微镜包括：由第一光学显微镜和平移台构成的光学导航系统，以及由电子源和电子光学镜筒构成的扫描电子显微镜装置，该光学导航系统还包括：位于所述第一光学显微镜下方且与所述平移台相连的、容纳待测样...
该专利属于聚束科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过聚束科技（北京）有限公司授权不得商用。

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