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本申请公开了一种匀光系统，包括光源、以及沿所述光源光路上依次设置的第一聚焦镜、准直扩束镜、滤光片、第二聚焦镜和匀光管。该匀光系统可对光学系统中指定的平面区域实现均匀光强照射，该匀光系统可以进一步提升匀光管的均匀化效果，可应用于光刻加工和光电...
该专利属于苏州亿拓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州亿拓光电科技有限公司授权不得商用。

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