匀光系统技术方案

本申请公开了一种匀光系统，包括光源、以及沿所述光源光路上依次设置的第一聚焦镜、准直扩束镜、滤光片、第二聚焦镜和匀光管。该匀光系统可对光学系统中指定的平面区域实现均匀光强照射，该匀光系统可以进一步提升匀光管的均匀化效果，可应用于光刻加工和光电检测等高端领域。

Smoothing system

The invention discloses a light distribution system, comprising a light source, a first focusing lens arranged along the light path of the light source, a collimator, a filter, a filter, a second focusing mirror and a light dividing tube. The uniform light system of the plane area specified in the optical system to achieve uniform light irradiation, the homogenization system can further enhance the uniform light tube uniform effect, can be used in the field of high-end lithography processing and photoelectric detection etc..

【技术实现步骤摘要】
匀光系统
本申请涉及一种匀光系统，特别是涉及一种可对光学系统中指定的平面区域实现均匀光强照射的系统。
技术介绍
匀光照明系统可对光学系统中指定的平面区域实现均匀光强分布的光投射，其在光电检测和光学加工领域具有重要的应用价值。在各种匀光照明系统中，基于匀光管(也称为光通)的匀光照明系统是一种常见并且重要的类型，与其他类型的匀光照明系统(例如：基于光纤耦合匀光照明系统、基于微透镜阵列或积分棒的匀光照明系统以及基于衍射分光器件的匀光照明系统的等)相比，它具有光能利用率高、结构简单易于调控、轻便小巧和成本低廉等诸多优点。典型的匀光管是由4片矩形反射镜围成的管状空腔，其内表面为反射面。将点光源置于匀光管入口的中心，则在匀光管出口截面上的光强分布为近似均匀分布。其原理如图1所示，此处分析基于匀光管剖面图内的二维结构展开，其结论可以推广到实际的空间三维结构。点光源S发出的光束具有一定的空间发散角，靠近光束中心的小角度光束直接照射到匀光管出口，而较大角度光束被匀光管内表面1次反射后，再照射到匀光管出口。更大角度的光束会受到匀光管内表面反射的2次及以上的折叠反射，为简化分析，这种情形在此例中的未予体现本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种匀光系统，其特征在于，包括光源、以及沿所述光源光路上依次设置的第一聚焦镜、准直扩束镜、滤光片、第二聚焦镜和匀光管。

【技术特征摘要】
1.一种匀光系统，其特征在于，包括光源、以及沿所述光源光路上依次设置的第一聚焦镜、准直扩束镜、滤光片、第二聚焦镜和匀光管。2.根据权利要求1所述的匀光系统，其特征在于：所述光源为激光器或LED光源。3.根据权利要求1或2所述的匀光系统，其特征在于：所述光源设置于所述准直扩束镜的前焦点。4.根据权利要求1所述的匀光系统，其特征在于：所述第二聚焦镜的数值孔径与匀光管的管长与口径的比相匹配。5.根据权利要求1或4所述的匀光系统，其特征在于：所述第二聚焦镜的数值孔径与匀光管的尺寸满足：进入匀光管内最大发散角的光线...

【专利技术属性】
技术研发人员：李琳，
申请(专利权)人：苏州亿拓光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32