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本发明涉及新材料和现代表面技术领域。尤其涉及一种等离子体化学气相沉积与磁控溅射或离子镀复合的镀覆方法。在阴极与阳极之间施加电压，使反应气体或惰性气体发生辉光放电，产生由电子和离子构成的等离子体。其中电子的运动受到正交电场和磁场的束缚，局限在...
该专利属于湖州金象科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖州金象科技股份有限公司授权不得商用。

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