下载一种环形FET器件的技术资料

文档序号:16155510

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本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种环形FET器件,从下至上包括衬底、缓冲层及势垒层,源极金属形成于势垒层上且底部延伸至缓冲层;栅极金属的第一环绕部为环绕源极金属的闭合环形,第一延伸部从第一环绕部延伸覆盖至环形隔离区;漏极金属的第二环...
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