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一种环形FET器件制造技术
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文档序号:16155510
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本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种环形FET器件,从下至上包括衬底、缓冲层及势垒层,源极金属形成于势垒层上且底部延伸至缓冲层;栅极金属的第一环绕部为环绕源极金属的闭合环形,第一延伸部从第一环绕部延伸覆盖至环形隔离区;漏极金属的第二环...
该专利属于成都海威华芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都海威华芯科技有限公司授权不得商用。
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