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本申请公开了一种控制方法、射频功率分配器以及ICP设备，该控制方法包括：获取内线圈相对于外线圈的电流比的期望值；按照预设函数，调节第二电容的电容值以及第四电容的电容值，使得内线圈相对于外线圈的电流比处于期望值。功率分配器为双线圈结构，第二电...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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