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本实用新型提出一种炉管叠片传片系统，包括：五片传送手臂；硅片架，其上间隔放置叠片硅片；石英舟，其上间隔放置叠片硅片，其中，所述五片传送手臂用于将所述硅片架上的叠片硅片取出并送入石英舟的槽中。本实用新型提出的炉管叠片传片系统，能稳定准确安全地...
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