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本发明公开了一种自旋转立式镀膜基架，包括基架本体和支架，所述基架本体包括顶部的第一导向部和底部的第二导向部，所述支架用于承载待镀膜的样品，可旋转地设于所述基架本体上。本发明还公开了一种镀膜设备。本发明能够实现了流水线式生产，在保证薄膜质量的...
该专利属于深圳先进技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。

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