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本实用新型提供一种晶圆单面抛光装置，包括大盘、抛光垫、晶圆夹持装置、支撑装置、侦测杆、影像传感器；抛光垫设置在大盘的一个工作面；晶圆夹持装置设置在抛光垫上方；晶圆夹持装置下端用于固定住晶圆；侦测杆设置在抛光垫上方，影像传感器安装在侦测杆上并...
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