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具有非对称源极/漏极的半导体器件制造技术
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下载具有非对称源极/漏极的半导体器件的技术资料
文档序号:16131150
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一种半导体器件包括衬底、从所述衬底突出的有源鳍以及布置在所述有源鳍的上表面上的非对称菱形源极/漏极。所述源极/漏极包括第一晶体生长部分和第二晶体生长部分,第二晶体生长部分与第一晶体生长部分共享一个平面,并且第二晶体生长部分的下表面布置在比第...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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