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一种基板处理装置、基板处理方法及基板的制造方法。有关实施方式的基板处理装置(1)具备：基板支承部(20)，支承基板(W)；旋转部(22)，使上述基板(W)旋转；处理液供给部(40)，向上述基板(W)的表面(Wa)供给处理液(L1)；控制部(...
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