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本发明提供能够充分地确保压电特性并降低应力的压电膜以及压电振子。压电膜含有AlN结晶、在AlN结晶中与Al进行置换的至少一种第一元素、以及具有比第一元素的离子半径小且，Al的离子半径大的离子半径并被添加到AlN结晶的第二元素。...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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