下载鳍下器件隔离的技术资料

文档序号:16113362

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一种基于鳍的结构可包括在半导体基板的表面上的鳍。这些鳍中的每个鳍可包括邻近半导体基板的表面的掺杂部分。该基于鳍的结构还可包括隔离层,该隔离层被设置在各鳍之间和半导体基板的表面上。该基于鳍的结构还可包括在鳍的掺杂部分的侧壁上的凹陷隔离内衬。鳍...
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