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本发明提供一种化学研磨装置用承载头的固定环，其中包括：第一固定环部件，与晶片的外侧面接触；第二固定环部件，形成于所述第一固定环部件的外侧及上部，不与晶片的外侧面接触；以及减压单元，用于减低从所述第二固定环部件的上部传递至所述第一固定环部件的...
该专利属于俞贤贞所有，仅供学习研究参考，未经过俞贤贞授权不得商用。

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