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传达方向选择性光衰减的设备和方法技术
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文档序号:16112316
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一种传达方向选择性光衰减的方法、设备。一种向光掩模传达方向选择性光衰减的方法可以包含对不同入射方向的光线分配不同衰减等级。所述方法还可以包括计算遮蔽元件阵列,以取决于光线的入射方向,用所分配的不同衰减等级来衰减光线。所述方法还可以包括在光掩...
该专利属于卡尔蔡司SMS有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司SMS有限公司授权不得商用。
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