温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种CVD或PVD覆层装置，具有壳体(1、2)和固定在壳体(1、2)上的具有进气机构(7)的组件(23)，所述进气机构具有具备排气口(8)的、在排气平面内延伸的排气面(7’)，所述组件(23)通过固定件(13、14)固定在壳体(1...
该专利属于艾克斯特朗欧洲公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾克斯特朗欧洲公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。