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控制包含至少一个非极性嵌段和至少一个极性嵌段的嵌段共聚物的合成的方法和这样的嵌段共聚物通过直接自组装在纳米光刻应用中的用途技术
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下载控制包含至少一个非极性嵌段和至少一个极性嵌段的嵌段共聚物的合成的方法和这样的嵌段共聚物通过直接自组装在纳米光刻应用中的用途的技术资料
文档序号:16109904
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控制包含至少两个嵌段的嵌段共聚物的合成的方法,所述至少两个嵌段包括至少一个非极性嵌段和至少一个极性嵌段,所述方法使得可特别地控制嵌段之间的比率和各嵌段的分子量,所述共聚物为意图通过直接自组装件(DSA)用作纳米光刻方法中的掩模的嵌段共聚物,...
该专利属于阿科玛法国公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿科玛法国公司授权不得商用。
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