下载剥离多层基板的设备和方法的技术资料

文档序号:16109212

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本发明提供用于加工第一基板的方法,其中第一基板的第一主表面可移除地结合到载体基板的第一主表面。示例性方法包括以下步骤:在将该载体基板从该第一基板剥离时控制该载体基板的弯曲半径。在其它示例中,方法包括以下步骤:在附连构件相对于臂枢转时,利用附...
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