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本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源；具有多个孔径的第一多孔径板，其布置在系统的带电粒子束路径中源的下游；第一多孔径选择器板，具有多个孔径；载体，第一多孔径选择器板安装在载体上；致动器，构造为移动载体，使在系统的第一操作模式...该专利属于以色列实用材料有限公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过以色列实用材料有限公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。