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位移检测装置和角速度检测装置制造方法及图纸
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下载位移检测装置和角速度检测装置的技术资料
文档序号:16099425
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本发明的位移检测装置具备:第一传感器;第二传感器;物体,包含周期排列在第一方向上的第一区域和第二区域,并且在第一方向上相对于第一传感器和第二传感器位移;以及运算单元。第一传感器检测伴随物体的位移的第一磁场变化,并且将检测出的第一磁场变化作为...
该专利属于TDK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TDK株式会社授权不得商用。
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