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一种纳米薄膜的制备方法技术
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下载一种纳米薄膜的制备方法的技术资料
文档序号:16096075
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本发明公开一种纳米薄膜的制备方法。将镧盐、钴盐和锰盐与乙二醇与甲醚的混合溶液混合搅拌,加入乙酰丙酮,以单晶Si为衬底,在衬底上沉积薄膜,将薄膜用快速热处理系统氧气气氛下退火,升温至700‑800℃,在700‑800℃时长150‑250s;重...
该专利属于内蒙古大学所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古大学授权不得商用。
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