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一种多层AZO薄膜的制备方法，包括如下步骤：使用第一Al掺杂浓度的AZO靶材溅射生长一层AZO薄膜；使用第二Al掺杂浓度的AZO靶材溅射生长一层AZO薄膜；使用第三Al掺杂浓度的AZO靶材溅射生长一层AZO薄膜。所述第一Al掺杂浓度，所述第...
该专利属于中国建材国际工程集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国建材国际工程集团有限公司授权不得商用。

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