温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种晶圆切片机及其轮组结构，该晶圆切片机包含进给单元和轮组结构，该轮组结构用于带动切割线切割晶棒，并包含间隔设置的两个主辊轮及至少一个辅助辊轮。定义一个通过该主辊轮的旋转中心轴的水平面，及两个分别通过该旋转中心轴且垂直该水平面的垂直面。该辅...
该专利属于友达晶材股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达晶材股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。