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横截面扩张模式共振器制造技术
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下载横截面扩张模式共振器的技术资料
文档序号:16082511
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本发明揭示横截面扩张模式共振器。所述扩张模式共振器包含第一电极层、第二电极层及由压电材料形成的压电层。所述压电层具有包含以下各项的尺寸:在X轴与垂直于所述X轴的Y轴的平面中的横向距离D以及沿垂直于所述X轴及所述Y轴的Z轴的厚度T。所述厚度与...
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