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基于线路移位的金属线布局制造技术
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文档序号:16081727
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本发明涉及基于线路移位的金属线布局,其提供一种对半导体装置进行后段制程(BEOL)处理的方法,包括就该半导体装置的金属化层的金属线提供布局,判定所提供布局中的半隔离金属线,以及移位该受判定的半隔离金属线的至少一部分。...
该专利属于格罗方德半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过格罗方德半导体公司授权不得商用。
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