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本发明提供一种晶片定位装置，叠置于静电卡盘以及基环上用于晶片的定位，所述晶片定位装置，包括第一聚焦环，第二聚焦环和升降机构，所述第一聚焦环和第二聚焦环均为环形结构，所述第一聚焦环套置于所述第二聚焦环外侧，所述升降机构与所述第一聚焦环连接，所...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。