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本发明涉及一种全纵深高分辨在线实时气泡监控装置及监控方法。所述监控方法包括：选用成像镜头对流动有聚合材料的管路进行往返扫描并成像，以对所述管路中的气泡进行实时监控；其中，所述扫描沿所述管路的径向方向并且振幅为所述管路的直径；在所述往返扫描过...该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。