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本申请涉及用于基于库的临界尺寸CD计量的精确和快速的神经网络训练。描述了用于基于库的临界尺寸(CD)计量的精确神经网络训练的方法。还描述了用于基于库的临界尺寸(CD)计量的快速神经网络训练的方法。...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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