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雪崩光电二极管器件及其结构参数的调整方法技术
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文档序号:16080226
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本发明提供了一种雪崩光电二极管器件结构参数的调整方法,通过二极管器件的结构参数来计算其内部的电场分布,将仿真后的初始电场分布与预设电场分布进行比较,根据理论公式推导结果,反过来修正结构参数。重复上述过程,直到得到较优的电场分布。本发明的调整...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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