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本发明提供一种磁控元件和磁控溅射装置。该磁控元件包括分别呈环状曲线的第一磁极和第二磁极，第一磁极和第二磁极极性相反，第一磁极和第二磁极相互嵌套且相互之间形成磁场，第一磁极和第二磁极之间形成的间隔区域的宽度为第一间距，第一间距能使沉积在基片上...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。