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本实用新型公开了一种测试结构，包括N组子测试结构，其中，N为正整数，且N≥2；所述子测试结构包括至少一条具有第一线宽的第一互连线、至少一条具有第二线宽的第二互连线和至少一个通孔；所述通孔在第一方向上的第一宽度小于所述通孔在第二方向上的第二宽...该专利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。