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本披露涉及新颖的两步光致抗蚀剂组合物和工艺。这些工艺涉及在步骤一中移除对酸敏感的基团以及在步骤二中使该剩余的材料与它们自身或添加的交联体系交联。将多步途径结合到抗蚀剂催化链中增加了在接收低剂量辐射的区域中的化学梯度，有效地充当内置的取决于剂...该专利属于亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;艾伦·布朗;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;汤姆·拉达所有，仅供学习研究参考，未经过亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;艾伦·布朗;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;汤姆·拉达授权不得商用。