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本发明提供一种能够高灵敏度地检测外延片的缺陷·异物的新的评价方法。该评价方法是使用具有入射系统和受光系统的激光表面检查装置对外延片进行评价的方法。使入射光从一个入射系统向外延层的表面入射，该入射光通过被外延层的表面反射或散射而放射，第一受光...
该专利属于胜高股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过胜高股份有限公司授权不得商用。

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