下载一种在基板上制备导电图案的制程的技术资料

文档序号:16065389

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本发明提供了一种在基板上制备导电图案的制程,其包括导电图案成型步骤。其中所述导电图案成型步骤包括,在基板上沉积预定金属;在所述基板的预定金属层上形成缓蚀剂层;使所述基板表面金属层上附着的缓蚀剂水解,使得所述缓蚀剂分子水解后在所述预定金属层表...
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