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本发明涉及太阳能电池板制造技术领域,尤其为一种扩散低表面浓度提效工艺,包括以下步骤,步骤1)装片送片;步骤2)升温;步骤3)预氧化;步骤4)第一次扩散;步骤5)第一次推进;步骤6)第二次扩散;步骤7)第二次推进;步骤8)降温;步骤9)退舟。...该专利属于通威太阳能(合肥)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威太阳能(合肥)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及太阳能电池板制造技术领域,尤其为一种扩散低表面浓度提效工艺,包括以下步骤,步骤1)装片送片;步骤2)升温;步骤3)预氧化;步骤4)第一次扩散;步骤5)第一次推进;步骤6)第二次扩散;步骤7)第二次推进;步骤8)降温;步骤9)退舟。...