下载一种能够承载两种尺寸的硅片的石墨框的技术资料

文档序号:16060704

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本实用新型公开了一种能够承载两种尺寸的硅片的石墨框,其包括框架主体与所述的框架主体底部左右向外伸出的两个下承载硅片钩点,所述的下承载硅片钩点与框架主体之间的夹角为140°。本石墨框能够承载156规格或157规格的硅片而不会产生掉片问题。...
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