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本实用新型公开了一种靶材真空清洗隔离装置，包括挡板、上支撑结构和下支撑结构，该挡板设置于真空腔体内，挡板通过上支撑结构设置于真空腔体的上腔壁上，挡板通过下支撑结构设置于真空腔体的下腔壁上，所述挡板的后方设有靶材，上支撑结构包括气动元件、N极...
该专利属于苏州吉恒纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州吉恒纳米科技有限公司授权不得商用。

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