下载一种真空镀膜炉内弧源遮蔽装置的技术资料

文档序号:16060686

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本实用新型公开了一种真空镀膜炉内弧源遮蔽装置,包括固定座、机架、螺杆、活动螺杆座、密封圈、电机、密封端盖、活动座一、连接块一、连接板、导轨一、活动座二、连接块二、支撑架、隔离支架、导轨二和侧隔离网;本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安...
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