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本发明公开了一种无液滴多弧蒸发离化源结构，其离化源包括靶材，靶材具有产生靶材蒸发粒子的蒸发放电表面，蒸发放电表面的前方、靶材蒸发粒子通过的路径上，设有加热器，加热器设有可以让靶材蒸发粒子穿过的加热空间，加热空间平行于蒸发放电表面的横截面覆盖...
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