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本发明涉及钼基靶和通过热喷镀制备靶的方法，其中，包含至少一种钼基化合物的具有公称厚度的靶，特征在于它具有：层状微结构；低于1000 ppm，优选地低于600 ppm，甚至更优选地低于450 ppm的氧含量；低于该化合物的理论电阻率的五倍、优...
该专利属于圣戈班涂敷技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过圣戈班涂敷技术公司授权不得商用。

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